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隨著集成電路規(guī)模的日益增大，元器件越來(lái)越小，各種微電子電路的尺寸間距、引線都已突破微米向納米前進(jìn)，這就產(chǎn)生了超微加工技術(shù)。
超高精度電鑄造微細(xì)管
照片產(chǎn)品：Φ0.015mm
組成材質(zhì)：不銹鋼、鈹銅等
薄膜材質(zhì)：鎳、銅、金等
外徑尺寸：0.03mm
一般公差：±0.005mm
精密公差：0.0005mm（更高精密也對(duì)應(yīng)）
總長(zhǎng)：2000mm
這種技術(shù)的關(guān)鍵是形成微加工區(qū)和引線光刻技術(shù)。為了提高加工精細(xì)水平，由傳統(tǒng)的接觸掩膜光刻發(fā)展到投影光刻，并采用波長(zhǎng)短的紫外光同步輻射或電子束作為光（輻射）源，用它們進(jìn)行曝光可以獲得更高的分辨能力。與超精細(xì)光刻技術(shù)配合的超微加工技術(shù)還有自對(duì)準(zhǔn)技術(shù)、離子注入摻雜、激光淀積布線。今后的微細(xì)加工方向，將是對(duì)這些裝置進(jìn)行改良，開發(fā)分辨能力更高的抗蝕劑，以及采用能看到原子的掃描隧道顯微鏡STM和場(chǎng)離子顯微鏡FIM等。
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超細(xì)微加工
彈墊在組裝環(huán)節(jié)中，彈簧墊圈的直徑發(fā)生變化，向外膨脹，這種情況就叫做“漲圈”。這種情況很久之前就發(fā)現(xiàn)了，產(chǎn)生這種現(xiàn)象的主要...
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